Датчики физических величин и чувствительные элементы

Чувствительные элементы давления


ЧЭД 2, ЧЭД 4М, ЧЭД 9 - чувствительные элементы избыточного давления, ЧЭД 2А, ЧЭД 4МА, ЧЭД 9А - чувствительные элементы абсолютного давления. ЧЭД представляет собой сборку, состоящую из тензочувствительного кристалла интегрального преобразователя давления ИПД (ИПД 2, ИПД 4М, ИПД 9) и переходных кремниевых деталей в виде кремниевых прокладок и основания. Соединение элементов в конструкции ЧЭД выполнено низкотемпературным стеклом методом диффузионной пайки в вакууме. Выходные характеристики ЧЭД повторяют выходные характеристики кристалла ИПД, входящего в состав ЧЭД. Конструкция ЧЭД обеспечивает сохранение точностных параметров ИПД при установке ЧЭД в корпус датчика. Возможно использование ЧЭД 2 при 10 - 63 МПа.
ЧЭД 2, ЧЭД 4М, ЧЭД 9 - чувствительные элементы избыточного давления, ЧЭД 2А, ЧЭД 4МА, ЧЭД 9А - чувствительные элементы абсолютного давления. ЧЭД представляет собой сборку, состоящую из тензочувствительного кристалла интегрального преобразователя давления ИПД (ИПД 2, ИПД 4М, ИПД 9) и переходных кремниевых деталей в виде кремниевых прокладок и основания. Соединение элементов в конструкции ЧЭД выполнено низкотемпературным стеклом методом диффузионной пайки в вакууме. Выходные характеристики ЧЭД повторяют выходные характеристики кристалла ИПД, входящего в состав ЧЭД. Конструкция ЧЭД обеспечивает сохранение точностных параметров ИПД при установке ЧЭД в корпус датчика. Возможно использование ЧЭД 2 при 10 - 63 МПа.