Датчики физических величин и чувствительные элементы

Интегральный преобразователь давления ИПД5.2 Чувствительный элемент давления ЧЭД5.2


Описание: преобразователь выполнен в виде кристалла размером 6,2x6,2 мм и толщиной 430 мкм с размером мембраны 3,5x3,5 мм и распределенным концентратором на мембране. Все тензорезисторы идентичны по геометрии и параллельны между собой. Резисторы объединены в мостовую схему Уитстона алюминиевыми дорожками с одной разорванной диагональю (для настройки начального разбаланса моста). Последовательно с тензомостом подключается транзисторная схема для температурной компенсации чувствительности.
Применение: преобразование избыточного, абсолютного и дифференциального давления в электрический сигнал. Описание: преобразователь выполнен в виде кристалла размером 6,2x6,2 мм и толщиной 430 мкм с размером мембраны 3,5x3,5 мм и распределенным концентратором на мембране. Все тензорезисторы идентичны по геометрии и параллельны между собой. Резисторы объединены в мостовую схему Уитстона алюминиевыми дорожками с одной разорванной диагональю (для настройки начального разбаланса моста). Последовательно с тензомостом подключается транзисторная схема для температурной компенсации чувствительности.
 Назначение: элементная база для датчиков давления. ЧЭД5.2-И - чувствительный элемент избыточного и дифференциального давления, ЧЭД5.2-А -чувствительный элемент абсолютного давления. ЧЭД представляет собой сборку, состоящую из тензочувствительного кристалла интегрального преобразователя давления ИПД и переходных кремниевых деталей в виде кремниевых прокладок и основания. Соединение элементов в конструкции ЧЭД выполнено низкотемпературным стеклом методом диффузион¬ной пайки в вакууме. Выходные характеристики ЧЭД повторяют выходные характеристики ИПД, входящего в состав ЧЭД. Конструкция ЧЭД обеспечивает сохранение точностных параметров ИПД при установке ЧЭД в корпус датчика.


   
Верхний предел 
преобразуемого давления Рном,МПа
Uвых.,
  мВ
Перегрузочное давление
Рпер, Мпа
0,001 *> 100,1
0,0016 *> 150,1
0,0025> 200,1
0,004> 250,1
0,0063> 350,1
0,01> 450,1
0,016> 500,1
0,025> 550,125