Датчики физических величин и чувствительные элементы

Интегральный преобразователь давления ИПД6. Чувствительный элемент давления ЧЭД6


Описание
преобразователь ИПД6 выполнен в виде кристалла размером 4×4 мм, толщиной 430 мкм, с мембраной размером 2,2×2,2 мм и распределенным концентратором на мембране. Все тензорезисторы идентичны по геометрии и параллельны между собой. Резисторы объединены в мостовую схему Уитстона алюминиевыми дорожками с одной разорванной диагональю (для настройки начального разбаланса моста). Последовательно с тензомостом подключается транзисторная схема для температурной компенсации чувствительности.