Датчики физических величин и чувствительные элементы

Интегральный преобразователь давления ИПД6 Чувствительный элемент давления ЧЭД6


Описание: преобразователь выполнен в виде кристалла размером 4x4 мм и толщиной 430 мкм с мембраной размером 2x2 мм и распределенным концентратором на мембране. Все тензорезисторы идентичны по геометрии и параллельны между собой. Резисторы объединены в мостовую схему Уитсона алюминиевыми дорожками с одной разорванной диагональю (для настройки начального разбаланса моста).Последовательно с тензомостом подключается транзисторная схема для температурной компенсации чувствительности.
Применение: преобразование избыточного, абсолютного и дифференциального давления в электрический сигнал.

Назначение: элементная база для датчиков давления. ЧЭД6-И - чувствительный элемент избыточного и дифференциального давления, ЧЭД6-А - чувствительный элемент абсолютного давления. ЧЭД представляет собой сборку, состоящую из тензочувствительного кристалла интегрального преобразователя давления ИПД и переходных кремниевых деталей в виде кремниевых прокладок и основания. Соединение элементов в конструкции ЧЭД выполнено низкотемпературным стеклом методом диффузионной пайки в вакууме. Выходные характеристики ЧЭД повторяют выходные характеристики кристалла ИПД, входящего в состав ЧЭД. Конструкция ЧЭД обеспечивает сохранение точностных параметров ИПД при установке ЧЭД в корпус датчика.




Верхний предел преобразуемого давления Рном, МПа 0,04; 0,063; 0,1; 0,16; 0,25; 0,4; 0,63; 1,0; 1,6; 2,5
Перегрузочное давление, МПа от 2,5 до 5 Рном в зависимости от
типономинала
Напряжение питания, В 4,8 - 5,2
Диапазон изменения выходного напряжения при Р= 
Рном, мВ
от 60 до 150 в зависимости от
 типономинала
Диапазон рабочих температур, °С -50 ... +85
Выходное напряжение при Р=0, мВ ±6