Датчики физических величин и чувствительные элементы

Интегральный преобразователь давления ИПД8 Чувствительный элемент давления ЧЭД8-А1


Описание: преобразователь выполнен в виде кристалла размером 6,2x6,2 мм и толщиной 430 мкм с мембраной размером 2,2x2,2 мм и распределенным концентратором на мембране. Все тензорезисторы идентичны по геометрии и параллельны между собой. Резисторы объединены в мостовую схему Уитсона алюминиевыми дорожками с одной разорванной диагональю (для настройки начального разбаланса моста). Последовательно с тензомостом подключается транзисторная схема для температурной компенсации чувствительности.
Применение: преобразование абсолютного давления в электрический сигнал.

Назначение: элементная база для датчиков давления, защищенных от воздействия внешней среды. ЧЭД8-А1 - чувствительный элемент абсолютного давления. ЧЭД представляет собой сборку, состоящую из тензочувствительного кристалла интегрального преобразователя давления ИПД8 и переходных кремниевых деталей в виде кремниевых прокладок и основания. Над лицевой поверхностью ИПД расположена прокладка защитная, в которой анизотропным травлением сформировано углубление. Прокладка защитная по периметру герметично соединяется с ИПД при помощи легкоплавкого стекла. Процесс соединения деталей происходит в вакууме. При этом под защитной прокладкой создается вакуумная полость, относительно которой происходит измерение давления. Соединение элементов в конструк¬ции ЧЭД выполнено низкотемпературным стеклом методом диффузионной пайки в вакууме. Надежность образования вакуумной полости под защитной крышкой ЧЭД возрастает за счет того, что разновысотность лицевой стороны кристалла ИПД, создаваемая алюминиевой разводкой, вынесена на периферию кристалла ИПД и находится вне зоны соединения кристалла с крышкой.    

Верхний предел преобразуемого давления Рном, 
МПа
0,04; 0,063; 0,1; 0,16; 0,25; 0,4; 0,63
Перегрузочное давление, МПа от 1,5 до 5 Рном в зависимости от
 типономинала
Напряжение питания, В
4,8 - 5,2
Диапазон изменения выходного напряжения при
 Р= Рном, мВ
от 40 до 150
Диапазон рабочих температур, °С-50 ... +85
Выходное напряжение при Р=0, мВ ±6