Интегральный преобразователь давления ИПД9.1 Чувствительный элемент давления ЧЭД9.1
Описание: преобразователь выполнен в виде кристалла размером 4x4 мм и толщиной 430 мкм с мембраной размером 2,2x2,2 мм для ИПД9 и с мембраной размером 1,1x1,1 мм для ИПД9.1 и концентратором в центре мембраны. Два тензорезистора расположены на границе твердая часть кристалла - мембрана, а два других - на границе концентратор - мембрана. Все тензорезисторы идентичны по геометрии и расположены параллельно между собой. Резисторы объединены в мостовую схему Уитсона алюминиевыми дорожками с одной разорванной диагональю (для настройки начального разбаланса моста). Последовательно с тензомостом подключается транзисторная схема для температурной компенсации чувствительности.
Применение: преобразование избыточного, абсолютного и дифференциального давления в электрический
Применение: преобразование избыточного, абсолютного и дифференциального давления в электрический
сигнал.
Назначение: элементная база для датчиков давления
ЧЭД9-И (ЧЭД9.1-И1)-чувствительный элемент избыточного давления
ЧЭД9-А (ЧЭД9.1-А)-чувствительный элемент абсолютного давления
| ИПД 9.1 | 4,0; 6,3; 10; 16; 25; 40 |
| Перегрузочное давление, МПа | от 1,5 до 5 Рном в зависимости от
типономинала
|
| Напряжение питания, В | 4,8 - 5,2 |
| ИПД 9.1 | от 80 до 135 в зависимости от
типономинала
|
| Диапазон рабочих температур, °С | -50 ... +85 |
| Выходное напряжение при P=0, мВ | ±6 |
