Датчики физических величин и чувствительные элементы

Интегральный преобразователь давления ИПД9, ИПД9.1


Описание
Преобразователь выполнен в виде кристалла размером 4×4 мм и толщиной 430 мкм с мембраной размером 2×2 мм для ИПД9 и с мембраной размером 1×1 мм для ИПД9.1 и концентратором в центре мембраны. Два тензорезистора расположены на границе твердая часть кристалла –мембрана, а два других –на границе концентратор –мембрана. Все тензорезисторы идентичны по геометрии и параллельны между собой. Резисторы объединены в мостовую схему Уитстона алюминиевыми дорожками с одной разорванной диагональю (для настройки начального разбаланса моста). Последовательно с тензомостом подключается транзисторная схема для температурной компенсации чувствительности.