Датчики физических величин и чувствительные элементы

Тензомодули (преобразователи) абсолютного давления ТДМ-203


Тензомодули ТДМ203 предназначены для измерения абсолютного давления газовых и жидких неагрессивных сред в электрический аналоговый выходной сигнал.
Тензочувствительный кристалл ИПД монтируется в корпус в составе сборки (чувствительного элемента давления), обеспечивающей механическую развязку от корпуса. Между кристаллом ИПД и кремниевой крышкой (прокладкой защитной) в процессе сборки образована вакуумная полость. Кремниевые детали ЧЭД соединены в вакууме стеклом. Конструкция тензомодуля обеспечивает защиту электрической схемы кристалла ИПД и выводов от воздействия влаги воздуха.

                                                      ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ: 

Верхний предел преобразуемого давленияРном,
МПа
0,04; 0,063; 0,1; 0,16; 0,25; 0,4; 0,63
Выходное напряжение при Р=0, мВ - 6 ... + 6

Диапазон изменения выходного напряжения

При Р=Рном, MB

40 ... 150
Нелинейность выходной характеристики, % не более 0,25
Температурный коэффициент «нуля», %/10°С не более 0,25
Температурный коэффициент чувствительности
%/10°С
не более 0,25
Выходное сопротивление тензомостакОм 3,0 ... 5,0

 Диапазон рабочих температур: -50 ... 80°С.
 Повышеннаяпредельная температура среды: 125°С;
 Пониженнаяпредельная температура среды: - 60°С.