Датчики физических величин и чувствительные элементы

Тензомодули (преобразователи) абсолютного давления ТДМ-А


Тензомодуль ТДМ-А предназначен для измерения абсолютного давления газовых неагрес¬сивных сред. В тензомодуле применяется чувствительный элемент давления (ЧЭД), представляющий собой сборку из кристалла интегрального преобразователя давления ИПД и кремниевых деталей конструктивного назначения. Тип кристалла зависит от номинального значения давления. В процессе сборки ЧЭД между кристаллом ИПД и кремниевой прокладкой формируется вакуумная полость.
ЧЭД приклеивается к металлическому основанию корпуса, в которое впаяны металло- стеклянные выводы. К объему с измеряемым давлением тензомодуль подсоединяется через штуцер в крышке корпуса диаметром 4,8 мм.

                                           ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ: 


Верхний предел преобразуемого давления,
Рном,МПа
0,01; 0,016; 0,025; 0,04; 0,063; 0,1; 0,10; 0,25; 0,4; 0,63; 1,0;  
 1,6; 2,5; 4,0; 6,3; 10
Выходное напряжение при Р=0, мВ - 6 ... + 6

Диапазон изменения выходного напряжения

При Р=Рном, MB

40 ... 150
Температурный коэффициент «нуля», %/10°С не более 0,25
Температурный коэффициент «нуля», %/10°С не более 0,25
Температурный коэффициент чувствительности,
 
%/10°С
не более 0,25
Выходное сопротивление тензомостакОм 3,0 ... 5,0

   Диапазон рабочих температур: -50 ... 80°С.
   Повышенная предельная температура среды: 125°С;
   Пониженная предельная температура среды: - 60°С.