Микросистемная техника и микродатчики

Микро- и наносистемная техника и микродатчики

Основные направления научно-исследовательской деятельности:


Нано- и микроэлектромеханические системы (НИЛ НМЭМС)
  • Разработка дискретных и матричных преобразователей давления, ускорения и микрофлюидных систем



Магнитополупроводниковые нано- и микросистемы(НИЛ МПНМС)

  • Разработка дискретных и матричных преобразователей магнитного поля и электрического тока