Микро- и наносистемная техника и микродатчики

Основные направления научно-исследовательской деятельности:

Нано- и микроэлектромеханические системы (НИЛ НМЭМС)

Разработка дискретных и матричных преобразователей давления, ускорения и микрофлюидных систем

Магнитополупроводниковые нано- и микросистемы(НИЛ МПНМС)

Разработка дискретных и матричных преобразователей магнитного поля и электрического тока