Исследование и развитие новых технологических процессов нанотехнологий и перспективных материалов наноэлектроники

Основной задачей является изучение наиболее перспективных направлений в области микро- и наноэлектроники и разработка микроэлектронных устройств для различных применений.

Углеродные нанотрубки (УНТ):

- Технология получения массивов УНТ с заданными свойствами и характеристиками;

- Исследования электропроводности массивов УНТ:

Топологические массивы углеродных нанотрубок

- Исследование эмиссионных свойств УНТ (микродисплеи, элементы твердотельной вакуумной электроники)

Матрицы эмиссионных микрокатодов, состоящих из УНТ

- Разработка сенсоров (физических величин, газов, и т.д.)

Чувствительный элемент гигрометра на основе топологического массива УНТ

- Разработка вторичных источников питания с применением УНТ.

Наноструктурированный материал анода на основе композита УНТ-кремний