На базе НПК "Технологический центр", МИЭТ и ИНМЭ РАН регулярно проводится
   Международная научно-техническая конференция "Технология микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике".

   Такая форма организации научной деятельности призвана собрать ведущих учёных, специалистов в области микроэлектроники и нанотехнологий представить и обсудить свои работы.

  Для примера приведём программу 5-й Международной НТК, прошедшей в 2016 году:
  • Теория и моделирование нанотехнологий: самоорганизация в полупроводниковых структурах; квантовые точки и нити, наноразмерные кластеры, образование, разрушение, легирование, в том числе одноатомное; термодинамика образования кластеров и комплексов; кинетика кластеризации и преципитации в неупорядоченных полупроводниковых структурах; синергетика технологических процессов в полупроводниковом производстве; кинетика эпитаксиального роста пленок, квантовых нитей и точек.

  • Наноразмерные материалы: нанотрубки, нанопровода и пористые материалы: структура, механические свойства, процессы роста, электронные и магнитные свойства, явления переноса, спектроскопия, люминесценция, комбинационное рассеяние света, приборы на основе квантовых проволок: сенсоры, полевые транзисторы, биосенсоры, тензодатчики, Кремний -Углеродная наноэлектроника. Рост углеродных нанотрубок на кремниевых планарных структурах, селективность роста, применение и свойства структур

  • Нанотехнологии в микроэлектронике. Моделирование, проектирование и технологии производства микроэлектроники, наноэлементов и устройств: наноэлектроника, наноэлектромеханические системы, эмиссионные структуры, системы хранения и преобразования энергии, биохимические системы. Нанометрология. Новые методы, устройства и приборы в нанометрологии.

  • Технологии и конструкции изделий интеллектуальной силовой  электроники для применения в аппаратуре бытового и промышленного назначения, на транспорте, в топливно-энергетическом комплексе и в специальных системах.

  •  Комплексные системы мониторинга на базе интегральных и беспроводных МЭМС для медицинских, технологических, инженерных и транспортных применений.

  • Перспективные конструкции и технологические принципы формирования оптоэлектронных и квантовых структур и приборов нового поколения.

  • Микроэлектромеханические системы (МЭМС): интегральные и беспроводные микроэлектромеханические системы: микро- и наночувствительные элементы и преобразователи, аналоговые и цифровые микросхемы обработки сигналов в интегральных МЭМС, аналоговые и цифровые приёмопередающие устройства беспроводных МЭМС, средства снижения и возобновления энергопотребления беспроводных МЭМС.

  • Наноустройства, наноэлектроника: принципы конструирования нанообъектов, одноэлектронные приборы, приборы с квантовыми ямами, однофотонные приборы, особенности диагностики и контроля качества; влияние процессов разупорядочения.

  • Оптические свойства квантово-размерных структур: оптическое поглощение и люминесценция, комбинационное рассеяние в нанокристаллах и нанотрубках; физика и технология оптоэлектронных приборов на квантовых ямах.

  • Наносенсоры: новые материалы для наносенсоров, фуллерены и сенсоры на них, среды с упорядоченными наноразмерными включениями, датчики давления, вибрации и ускорений.


Материалы к конференциям, рекомендованные Оргкомитетом, размещены в журнале "Нано- и микросистемная техника" .