Свидетельство о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы №2008630043

12.09.2008

Топология тестовых структур для экспериментальной проверки базовой технологии изготовления радиационностойких СБИС на КНИ структурах

Авторы: Басаева Татьяна Сергеевна, Коняхин Валерий Вячеславович, Кузнецов Евгений Васильевич