Свидетельство о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы №2009630007

03.02.2009

Топология тестовых структур для измерения электрических параметров КМОП-транзисторов с целью аттестации базовой технологии изготовления микросхем серии 5509

Авторы: Басаева Татьяна Сергеевна, Кузнецов Евгений Васильевич, Белостоцкая Светлана Олеговна.