Свидетельство о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы №2007630014
15.03.2007
Интегральный преобразователь давления ИПД5.2 мембранного типа с тремя жесткими центрами
Авторы: Данилова Наталья Леонтьевна, Михайлов Юрий Александрович, Павлов Александр, Юрьевич, Панков Владимир Валентинович.