Свидетельство о государственной регистрации топологии интегральной микросхемы №2008630033

09.07.2008

Тестовый элемент для контроля величины встроенных механических напряжений в слое поликристаллического кремния

Авторы: Годовицын Игорь Валерьевич, Амеличев Владимир Викторович.