Миниатюрный тензорезистивный преобразователь давления с высокой чувствительностью

16.11.2012

Нано- и микросистемная техника. 2012. № 6. С. 26-29.
Авторы: Амеличев В.В.Годовицын И.В.Панков В.В.Сауров А.Н.