Интегральные МЭМС-датчики с повышенной стабильностью выходных параметров.

16.11.2012

Нано- и микросистемная техника. 2012. № 8. С. 36-41
Авторы: Былинкин C.Ф., Гаврилов А.А., Данилова Н.Л., Михайлов Ю.А., Пинаев В.В., Панков B.В., Суханов В.С., Шипунов А.Н.