Влияние условий формирования на свойства тонких пленок ZnO:Ga, осажденных методом магнетронного распыления на холодную подложку

16.09.2012

Известия высших учебных заведений. Электроника
2012 № 6(98). С.10-16.
Авторы: Громов Д.Г.,Козьмин А.М.,Шулятьев А.С.,Поломошнов С..А.,Шаманаев С.В.,Боголюбова Д.Н.