Конструкция и технология создания матриц преобразователей давления для эндоскопических тактильных датчиков

16.09.2012

Нано- и микросистемная техника  2012. № 11. С. 27-30.
Авторы: Амеличев В.В.,Буданов В.М.,Гусев Д.В.,Михайлов Ю.А.,Соколов М.Э.,Суханов В.С.,Тихонов Р.Д.