Миниатюрные тензорезистивные преобразователи давления: итоги двадцатипятилетия

17.09.2011

Нано- и микросистемная техника, 2011. №7. С.29-41
Авторы: Амеличев В.В.,Гаврилов Р.О.,Генералов С.С.,Годовицын И.В.,Сауров А.Н.