МЭМС высокого уровня – возможный путь развития МЭМС в России.

17.09.2011

Нано- и микросистемная техника, 2011. № 6. С.28-31
Авторы: Аравин В.В.,Вернер В.Д.,Сауров А.Н.,Мальцев П.П.