Расчет и моделирование основных параметров дифференциального емкостного МЭМС-акселерометра

25.09.2010

Сборник научных трудов IV Всероссийской научно-технической конференции «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2010».
Авторы: Амеличев В.В., Годовицын И.В., Сайкин Д.А, Фёдоров Р.А.