Спектроскопический элипсометр SENDURO
| Фирма-изготовитель | Sentech |
| Страна | Германия |
| Год выпуска | 2013 |
Назначение оборудования
Позволяет проводить измерение одно- и многослойных пленок на прозрачных и поглощающих подложках
Технические характеристики SENDURO
| Спектральный диапазон, нм | 290-850 |
| Диаметр площади измерений, мм | 1 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений угла, градус | |
|
Ψ (psi)
δ (delta)
| ± 0.02
± 0.04 |
| Пределы допускаемой погрешности измерений толщины | |
|
SiO2 на Si <100 A
SiO2 на Si от 100 до 300 A
SiO2 на Si от 300 до 2000 A
SiO2 на Si >2000 A
| ± 0.10A
± 0.15A ± 0.50A ± 0.03% |
| Время измерения не более, с | 5 |
| Характеристики объекта измерения: | |
| Предварительные условия
| Отражающие, прозрачные или поглощающие материалы
|
| Габаритные размеры объекта измерения не более, мм | Диаметр 200 или квадрат 200 х 200 |
| Толщина объекта измерения не более не более, мм | 10 |
