Фурье-спекторметр (ФСМ)

Фурье-спектрометр ФСМ 1201 П


Фурье-спектрометр ФСМ 1201 П


Сведения о изготовителе установки

Фирма-изготовитель:

ООО "Инфраспек"

Страна:

Россия

Год выпуска

2013


Назначение оборудования:

Позволяет проводить автоматическое измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния, размещаемых на измерительном столе в средней инфракрасной области спектра.



Основные характеристики методик контроля.

Характеристика

Значение

Размер пластины

76, 100, 125, 150, 200

Точность позиционирования стола, мм, не более

1

Время стандартного измерения в одной точке (20 сканов), сек, не более

60

Пределы измерения концентрации междуузельного кислорода (толщина пластины от 0,4 до 2 мм), см-3

От 4х1015 до 2х1018

Стандартное отклонение результатов измерения концентрации кислорода (толщина шайбы 2 мм), см-3, не более

2х1015

Пределы измерения концентрации углерода замещения (толщина пластины от 0,4 до 2 мм), см-3

От 1016 до 1018

Стандартное отклонение результатов измерения концентрации углерода (толщина шайбы 2 мм), см-3, не более

5х1015


Основные характеристики спектрометра.

Характеристика

Значение

Тип прибора

Интерференционный

Спектральный диапазон, см-1

От 400 до 7800

Погрешность калибровки шкалы волновых чисел, см-1, не более

±0,05

Спектральное разрешение, см-1, не более

1,0

Среднее квадратичное отклонение линии 100% пропускания (от 2100 до 2200 см-1, разрешение 4 см-1, 20 сканов), %, не более

± 0,02

Отклонение линии 100% пропускания от номинального значения (2100 до 2200 см-1, разрешение 4 см-1, 20 сканов), %, не более

±0,5

Линейность фотоприемной системы (уровень псевдорассеянного света), %, не более

±0,2

Материал светоделителя

Бромистый калий

Источник ИК излучения

Нихром-керамика

Температура источника ИК излучения, °С

От 1050 до 1100

Диаметр ИК пучка в плоскости образца, мм

6

Приемник ИК потока

Пироэлектрический, танталат лития

Система данных

На базе IBM совместимого с ПК