Сведения о изготовителе установки
Фирма-изготовитель: |
ООО "Инфраспек" |
Страна: |
Россия |
Год выпуска |
2013 |
Назначение оборудования:
Позволяет проводить автоматическое измерение плоскопараллельных полированных пластин кремния, размещаемых на измерительном столе в средней инфракрасной области спектра.
Основные характеристики методик контроля.
Характеристика |
Значение |
Размер пластины |
76, 100, 125, 150, 200 |
Точность позиционирования стола, мм, не более |
1 |
Время стандартного измерения в одной точке (20 сканов), сек, не более |
60 |
Пределы измерения концентрации междуузельного кислорода (толщина пластины от 0,4 до 2 мм), см-3 |
От 4х1015 до 2х1018 |
Стандартное отклонение результатов измерения концентрации кислорода (толщина шайбы 2 мм), см-3, не более |
2х1015 |
Пределы измерения концентрации углерода замещения (толщина пластины от 0,4 до 2 мм), см-3 |
От 1016 до 1018 |
Стандартное отклонение результатов измерения концентрации углерода (толщина шайбы 2 мм), см-3, не более |
5х1015 |
Основные характеристики спектрометра.
Характеристика |
Значение |
Тип прибора |
Интерференционный |
Спектральный диапазон, см-1 |
От 400 до 7800 |
Погрешность калибровки шкалы волновых чисел, см-1, не более |
±0,05 |
Спектральное разрешение, см-1, не более |
1,0 |
Среднее квадратичное отклонение линии 100% пропускания (от 2100 до 2200 см-1, разрешение 4 см-1, 20 сканов), %, не более |
± 0,02 |
Отклонение линии 100% пропускания от номинального значения (2100 до 2200 см-1, разрешение 4 см-1, 20 сканов), %, не более |
±0,5 |
Линейность фотоприемной системы (уровень псевдорассеянного света), %, не более |
±0,2 |
Материал светоделителя |
Бромистый калий |
Источник ИК излучения |
Нихром-керамика |
Температура источника ИК излучения, °С |
От 1050 до 1100 |
Диаметр ИК пучка в плоскости образца, мм |
6 |
Приемник ИК потока |
Пироэлектрический, танталат лития |
Система данных |
На базе IBM совместимого с ПК |