Исследования в области создания комплексных биохимических систем на базе ИС
Направление разработок: создание конструктивно-технологического базиса для производства интегральных аналитических микросистем химического и биохимического анализа, в том числе:
- Исследование наноструктурных транзисторов в качестве химических сенсоров.
- Интеграция процессов формирования микрофлюидных систем с технологиями производства КМОП ИС и разработка прототипов микрофлюидных систем для химического анализа.
- Создание масштабируемых технологий функционализации поверхности полупроводниковых материалов.
- Исследование поведения биологических макромолекул на поверхности полупроводниковых структур.
- Создание подходов к корпусированию гибридных КМОП/микрофлюидных микросистем для химического анализа.
